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地 址:
廣東省東莞市南城街道黃金路1號天安數(shù)碼城D2棟307室
GF產(chǎn)品在多晶硅制造工藝中潛在的應(yīng)用
GF產(chǎn)品在多晶硅制造工藝中潛在的應(yīng)用
GF產(chǎn)品在多晶硅制造工藝中潛在的應(yīng)用段
多晶硅生產(chǎn)合成的主工藝段:
第一段  HCl氣體:
氫氣和氯氣來自燒堿副產(chǎn)物,在石墨反應(yīng)器燃燒生成HCL,水吸收后得到高純鹽酸。
氫氣管線可以用GF公司PP-H
60度6bar的HCl液體可以用GF公司PP-H
我們替代的原有設(shè)計材質(zhì)為FR-PVC和鋼襯聚丙烯(PO)。
第二段 三氯氫硅(氣液混合物):
硅粉與HCl氣體在400 度條件下燃燒
此段不能采用GF產(chǎn)品,一般采用304L管,
第三段 精餾提純:
一般設(shè)26個精餾塔,產(chǎn)生大量尾氣;
第四段 還原:
還原工藝主流程中使用316 鈦管,不能采用GF產(chǎn)品;
輔助流程中有脫鹽水制備和使用,可以用GF的UPVC 、PP-H或PVDF 。
第五段 尾氣吸收:
尾氣(含HCl氣體、CaO粉塵、煙塵等)多來自精餾提純段。
水洗過程中,俄羅斯工藝用石灰乳漿液(10%的石灰乳漿液,溫度20度,工作壓力10bar 以下)吸收尾氣,原有設(shè)計上采用鋼襯四氟管。
水洗過程中,中方技術(shù)用水或堿液(32%的NaOH ,溫度20度,工作壓力10bar 以下)液吸收尾氣,原有設(shè)計上采用FR-PVC 管。
目前我們推薦采用GF的PP-H.
第六段 CDI分離:
主工藝得到的產(chǎn)品是混合物,含有三氯氫硅、四氯化硅、HCl干氣體等多種成分,需要進行分離。
分離技術(shù)一般來自美國(化工設(shè)計院不作)。
分離工藝中有脫鹽水輸送管路,材料有可能與后處理段的超純管路材料相同,也可能是稍低一等的材質(zhì)GF PP-H 或PP-CDB 。
分離工藝中大量的超純水,  可以采用GF的PVDF 。

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